RCA чист-стандартната последователност за почистване на пластини-използва разтвори SC1 и SC2 при повишени температури за отстраняване на частици и метални примеси. Топлообменниците, контролиращи тези температури на ваната, не трябва да допринасят за нулево допълнително замърсяване с метал, или цялата стъпка на почистване е компрометирана.
RCA чист процес
TheRCA чистпроцес, критична стъпка в подготовката на полупроводникови пластини, използва два почистващи разтвора:SC1(амониев хидроксид, водороден пероксид и вода) иSC2(солна киселина, водороден пероксид и вода). И двете решения работят при70-80 градусаи изпълняват различни роли в отстраняването на замърсители:
SC1 решение: Използван предимно за отстраняване на органични замърсители и прахови частици, SC1 действа като окисляващ разтвор. Високата -температурна среда осигурява ефективно почистване, разграждане на органични остатъци и частици, които могат да полепнат по повърхността на вафлата.
SC2 решение: Този разтвор се използва за отстраняване на метални йони от повърхността на вафлата. Комбинацията от солна киселина и водороден пероксид осигурява необходимата химическа реактивност за разтваряне и отстраняване на метални замърсители от вафлата, осигурявайки чиста повърхност за по-нататъшна обработка.
Както SC1, така и SC2 решенията са високикорозивениокисляващ, изискващи здрави системи, които могат да издържат на такива среди, като същевременно предотвратяват замърсяване от топлообменниците, използвани за поддържане на техните температури.
Ролята на PTFE топлообменниците при RCA почистване
Високотокорозивенестеството на решенията SC1 и SC2 изисква топлообменниците в това приложение да бъдат изградени отфлуорополимери, като напрPTFEилиPFA, които предлагат отлична химическа устойчивост. Тези топлообменници служат за регулиране на температурата на разтворите, като гарантират, че те остават в желания работен диапазон, като същевременно защитават целостта на процеса на почистване.
Външни рециркулационни контури: Топлообменниците от PTFE или PFA са интегрирани в системата като част от външни рециркулационни контури, които загряват или охлаждат решенията SC1 и SC2 според нуждите. Този подход със затворен -контур гарантира постоянни температури на разтвора без въвеждане на метални йони от процеса на нагряване/охлаждане.
Инертни свойства: PTFE и PFA топлообменниците са напълно инертни, което означава, че не отделят йони в разтвора, дори причасти-на-трилионграници на откриване на средата за производство на полупроводници. Това е от решаващо значение за поддържане на целостта на процеса на почистване на пластини, където замърсяването с метал може да доведе до значителна загуба на добив на устройството.
вмодерни полупроводникови фабрики, където се измерват бюджетите за замърсяванеатоми на квадратен сантиметър, необходимостта отбез{0}}йонирешенията за пренос на топлина са от първостепенно значение. самофлуорополимерни обменнициможе да отговори на тези строги изисквания, като гарантира, че чистият процес на RCA се извършва без въвеждане на допълнителни замърсители в повърхността на вафлата.
Клас на материала
Само за полупроводникови приложенияPTFE с висока{0}}чистотаилиPFAтрябва да се използва при конструирането на топлообменници. Тези материали отговарят на най-строгите стандарти захимическа устойчивостичистота, като се гарантира, че в почистващите вани не се отделят частици или йони. Не-полупроводников-клас флуорополимери може да съдържат примеси или замърсители, които могат да повлияят неблагоприятно на процеса на почистване.
Заключение
PTFE/PFA топлообменницииграят незаменима роля вRCA чистпроцес, осигуряващ надежден температурен контрол на разтворите SC1 и SC2 без въвеждане на метално замърсяване. Като запазват чистотата на повърхността на пластината, тези топлообменници допринасят директно за по-висока производителност на устройството и подобрени производствени резултати. Тъй като полупроводниковата индустрия продължава да настоява за модерни технологии, търсенето наматериали с най-висока{0}}чистотавъв всеки етап от производството, включително почистването на вафли, остава основно изискване за успех.
