След като сложните шарки на веригата са гравирани в силиконова пластина, защитната фоторезистентна маска-слой от здрав, кръстосано-свързан полимер-трябва да бъде напълно и чисто отстранен. Това се постига в гореща баня с мощни, агресивни органични разтворители, често нагрявани до над сто градуса по Целзий. Потопяемият нагревател вътре в тази летлива, корозивна химия трябва да бъде направен от материал, който разтворителите не могат да разтворят, набъбнат или замърсят. PTFE е този химически заглушен, инертен материал.
Ролята на PTFE нагревателите при отстраняване на фоторезист
Ваната за отстраняване обикновено се състои от смес от разтворители като N-метил-2-пиролидон (NMP), диметил сулфоксид (DMSO) и силни алкални амини, нагряти до 80–110 градуса. PTFE потопяем нагревател е стандартният избор за това приложение. Неговата химически инертна обвивка е напълно устойчива на агресивните разтворители, които иначе биха атакували стандартни пластмаси и корозирали метали.
PTFE нагревателят осигурява чиста, стабилна и прецизна топлина, без да отделя метални йони или други замърсители, които биха могли да се отложат върху девствената повърхност на вафлата. Незалепващата, гладка PTFE повърхност издържа на натрупването на разтворени остатъци от фоторезист, поддържайки идеално чиста нагревателна повърхност при многократни цикли. Процесът на оголване на вафли с фоторезист от PTFE нагревател осигурява равномерно разпределение на температурата и минимизира локализираното кипене или блъскане, което може да наруши деликатните вафли.
„PTFE нагревателят е химически безшумен, горещ пръст във вана с мощни разтворители, премахвайки маската, без да оставя нито една следа от себе си, като същевременно запазва пластината девствена и електрически безупречна.“
Съображения за безопасност
Сместа от разтворители е запалима, токсична и често работи близо до точката на кипене. Правилният дизайн на резервоара, включително запечатани заграждения, заземяване и вентилация, е задължителен за предотвратяване на опасност от пожар, излагане на пари или електростатични опасности. Необходими са консервативни плътности във вата, за да се поддържа контролирано нагряване и да се избегне блъскането на разтворителя или локализираното прегряване на PTFE обвивката.
Оперативни ползи
Използването на PTFE нагреватели в този процес позволява:
Химически имунитет към агресивни смеси от разтворители.
Поддържане на абсолютна чистота на вафли и електрическа цялост.
Дългосрочна-надеждност без корозия или разграждане.
Равномерно нагряване-без остатъци е критично за-производството на полупроводници с висок добив.
Заключение
Потопяемият нагревател от PTFE е критичният, химически имунитетен източник на топлина, който позволява чистото, пълно отстраняване на фоторезиста от пластините при производството на полупроводници. Осигурявайки стабилна топлина без{1}}замърсители в силно агресивна разтворителна вана, PTFE нагревателят гарантира атомната чистота, която е от съществено значение за съвременната микроелектроника. Перфектната, безупречна повърхност на компютърен чип се постига чрез комбинация от химическа агресия и инертно, надеждно нагряване.
