В полупроводниковата, микроелектронната и фармацевтичната промишленост изискванията за чистота на технологичните химикали са изключително строги и дори следи от замърсяване с метални йони ще доведат до бракуване на продукта или влошаване на качеството. Обикновените промишлени-клас PFA нагреватели не могат да отговорят на толкова високи изисквания за чистота, така че електронните-клас PFA нагреватели с висока-чистота се появиха като специална категория. Тези нагреватели използват PFA смола с ултра-висока чистота и се произвеждат при стриктни чисти производствени условия, като осигуряват нулево утаяване на йони по време на употреба и се превръщат в стандартно нагревателно оборудване за висок-клас чисти процеси.
Основната разлика между PFA нагревателите с висока-чистота и обикновените индустриални-продукти се крие в чистотата на суровините. PFA смолата с електронен -клас използва специални процеси на полимеризация и пречистване с изключително ниско съдържание на метални примеси, флуоридни йони и органични остатъци. Утаяването на метални йони на PFA с висока-чистота след дългосрочно-потапяне обикновено е на ниво ppt (части на трилион), докато обикновеният индустриален PFA може да бъде на ниво ppm, разлика от милиони пъти. Тази ултра{8}}характеристика на ниско утаяване гарантира, че процесът на нагряване няма да замърси химически разтвори с висока-чистота, отговаряйки на строгите изисквания за чистота при обработката на вафли.
В производството на полупроводници PFA нагревателите с висока{0}}чистота се използват широко в различни връзки с мокър процес. Машините за почистване на вафли трябва да загряват различни химически почистващи разтвори като SC1, SC2, сярна киселина, водороден прекис и др. PFA нагревателите с висока-чистота могат директно да се потапят и нагряват, без да внасят метално замърсяване. В процесите на отстраняване на фоторезист и нагряване на разтвора за ецване PFA с висока-чистота също показва отлична устойчивост на корозия и чистота. Освен това PFA нагревателите с висока-чистота също са стандартни конфигурации във фармацевтичното производство, лабораторни анализи и други случаи, изискващи ултра{10}}нагряване на разтвора.
Производственият процес на PFA нагреватели с висока{0}}чистота има много по-строг контрол в сравнение с обикновените индустриални продукти. Целият производствен процес трябва да бъде завършен в чиста работилница клас 100 или по-висока, за да се избегне замърсяването на околната среда с частици. Всички инструменти и приспособления трябва да използват високо-чисти флуоропластични материали и не могат да влизат в контакт с метал, който може да причини замърсяване. След производството продуктите трябва да преминат през много-канално почистване с ултра{7}}чиста вода и чисти опаковки, за да се гарантира, че продуктите, доставени на клиентите, са в чисто състояние, което може да се използва директно.
Проверката на качеството на PFA нагреватели с висока{0}}чистота също изисква специални стандарти за изпитване. В допълнение към конвенционалното откриване на дупки и откриване на дебелина е необходимо също да се извърши тест за йонно утаяване, тест за TOC (общ органичен въглерод) и тест за броя на частиците, за да се провери нивото на чистота. Само продукти, които са преминали тези строги тестове, могат да се използват в-пречистени процеси от висок клас. Разбира се, цената на PFA нагревателите с висока-чистота също е значително по-висока от тази на продуктите от промишлен-клас, обикновено 2 до 3 пъти по-висока от обикновените PFA нагреватели.
Таблица 1 Сравнение на промишлен-клас и електронен-клас PFA нагреватели
表格
| Индикатор за ефективност | Индустриален-клас PFA | Електронен-клас с висока-чистота PFA |
|---|---|---|
| Чистота на смолата | Стандартен индустриален клас | Свръх{0}}пречистен полупроводников клас |
| Утаяване на метални йони | ppm ниво | ppt ниво |
| Производствена среда | Обикновена работилница | Клас 100+ чиста стая |
| Контрол на частиците | Няма специални изисквания | Стриктен контрол на броя на частиците |
| Типично приложение | Галванопластика, химическа повърхностна обработка | Почистване на полупроводникови пластини, фармацевтични |
| Относителна цена | 1× базова линия | 2–3× |
С ултра-ниско утаяване на йони и висока чистота,-нагревателите от PFA с висока-чистота се превърнаха в незаменимо ключово оборудване в полупроводниковата и-производствената промишленост от висок клас.
